无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室(净化车间)是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。

　　气流是控制洁净度与温湿度的最主要因素，它对噪音也有一些影响。因此风速测量，都是放在无尘室测试的第一步。风速测量的目的，是确认滤网送出的气流满足设计规范，其次是确认气流的均匀度。在某些场合可能因现场的限制，室内换气量还必须用风速乘以出口面积来换算。

　　单一流向型无尘室，很多都是设计成垂直层流，因此风速均匀度非常重要，只有均匀的垂直层流，才能有效排除微粒污染。非单一流向型无尘室，由于微粒控制的观念是稀释，不是立即排除，一般而言其换气量远比风速重要，因此多只需要测量风量。

　　无尘车间用尘粒计数器检测方法:

　　参考标准(文件):ISO 14644-3(2005),B.1

　　第一步：

　　测试前确认影响无尘室或无尘区域运转完整性的所有部分都已完成并按设计性能规范运转。

　　第二步：

　　将无尘室划分成满足以下要求的不同测试单元：最少测试点数量为：以平方米为单位的无尘室面积的平方根(入到整数)。

　　第三步：

　　取样头竖直向上放置。

　　第四步：

　　设置粒子计数器的取样速率为1立方英尺每分钟，取样时间为1分钟。5>.在每个测试单元中间至少取一个样并记录相应读数，取样头离地板的高度为约0.8米。与客户协商同意，记录0.5um 和更大尺寸粒子浓度的读数。

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