无尘车间一般包含洁净区、准洁净区和辅助区三一部分。无尘车间的平面图安装可以有下列几类方式 :
外廊缠绕式:外廊可以有窗和没窗,兼作欣赏和置放一些机器设备用,有的在外面廊下设直勤供暖。窗扇必须是两层密封性窗。
内廊式:无尘车间建在外场,而过道建在內部,这类过道的洁净度级别一般都较高,甚至和无尘车间平级。
两边式:洁净区建在一边,另一边设准洁净和辅助用地。
管理中心式:为了更好地节约商业用地、减少管道,可以洁净区为管理中心,前后左右被各种各样辅助用地和阴蔽管路的室内空间包围起来,这类方式 绕开户外气侯对洁净区的危害,减少了热冷耗能,有利于环保节能。
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